标准号：GB/T 16524-1996
标准名称：光掩模对准标记规范
发布日期：1996-09-09
实施日期：1997-05-01
批准发布部门：国家标准化管理委员会
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位：中国科学院微电子中心
本规范规定了所有光掩模上使用的对准标记的形状、尺寸范围和一般位置。本规范适用于光掩模。
GB/T 16524-1996 光掩模对准标记规范
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