标准号：GB/T 16942-1997
标准名称：电子工业用气体 氢
发布日期：1997-08-13
实施日期：1998-05-01
废止日期：2010-05-01
批准发布部门：国家标准化管理委员会
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位：化学工业部西南化工研究院
GB/T 16942-1997 电子工业用气体 氢
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