标准号：GB/T 14851-1993
标准名称：电子工业用气体 磷化氢
发布日期：1993-12-30
实施日期：1994-10-01
废止日期：2010-05-01
批准发布部门：国家标准化管理委员会
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位：化工部光明化工研究所
GB/T 14851-1993 电子工业用气体 磷化氢
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