标准号：GB/T 15909-1995
标准名称：电子工业用气体 硅烷(SiH4)
发布日期：1995-12-20
实施日期：1996-08-01
废止日期：2010-05-01
批准发布部门：国家标准化管理委员会
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位：化工部西南化工研究院
GB/T 15909-1995 电子工业用气体 硅烷(SiH4)
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