标准号：GB/T 14600-2009
标准名称：电子工业用气体 氧化亚氮
代替标准：GB/T 14600-1993
发布日期：2009-10-30
实施日期：2010-05-01
批准发布部门：国家标准化管理委员会
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位：中国计量科学研究院、大连光明化工研究院、西南化工研究设计院
起草人：周泽义、孙福楠、周鹏云
u3000u3000本标准规定了氧化亚氮的技术要求，试验方法以及包装、标志、贮运及安全。 u3000u3000本标准适用于电子工业中化学气相淀积工艺。
