标准号：GB/T 14139-2009
标准名称：硅外延片
代替标准：GB/T 14139-1993
发布日期：2009-10-30
实施日期：2010-06-01
废止日期：2020-05-01
批准发布部门：国家标准化管理委员会
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位：宁波立立电子股份有限公司
起草人：许峰、刘培东、李慎重、谌攀
u3000u3000本标准规定了硅外延片的产品分类、技术要求、试验方法和检验规则及标志、包装运输、贮存等。 u3000u3000本标准适用于在N型硅抛光片衬底上生长的n型外延层（N/N＋）和在p型硅抛光片衬底上生长的P型外延层（P/P＋）的同质硅外延片。产品主要用于制作硅半导体器件。其他类型的硅外延片可参照使用。
