标准号：GB/T 14142-1993
标准名称：硅外延层晶体完整性检查方法 腐蚀法
发布日期：1993-02-06
实施日期：1993-10-01
废止日期：2018-04-01
批准发布部门：国家标准化管理委员会
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位：峨眉半导体材料研究所
本标准规定了用化学腐蚀显示，并用金相显微镜检验硅外延层晶体缺陷的方法本标准适用于硅外延层中堆垛层错和位错密度测量。硅外延层厚度应大于2μm测量范围为010000cm。
GB/T 14142-1993 硅外延层晶体完整性检查方法 腐蚀法
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