标准号：GB/T 14146-2009
标准名称：硅外延层载流子浓度测定 汞探针电容-电压法
代替标准：GB/T 14146-1993
发布日期：2009-10-30
实施日期：2010-06-01
批准发布部门：国家标准化管理委员会
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位：南京国盛电子有限公司、信息产业部专用材料质量监督检验中心、宁波立立电子股份有限公司
起草人：马林宝、唐有青、金龙、吕立平、刘培东、李静
本标准规定了硅外延层载流子浓度汞探针电容－电压测量方法。 u3000u3000本标准适用于同质的硅外延层载流子浓度测量。
