标准号：GB/T 6624-2009
标准名称：硅抛光片表面质量目测检验方法
代替标准：GB/T 6624-1995
发布日期：2009-10-30
实施日期：2010-06-01
批准发布部门：国家标准化管理委员会
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位：上海合晶硅材料有限公司
起草人：徐新华、王珍
u3000u3000本标准规定了在一定光照条件下，用目测检验单晶抛光片（以下简称抛光片）表面质量的方法。 u3000u3000本标准适用于硅抛光片表面质量检验。外延片表面质量目测检验也可参考本方法进行。
