标准号：GB/T 31093-2014
标准名称：蓝宝石晶锭应力测试方法
发布日期：2014-12-22
实施日期：2015-09-01
批准发布部门：国家标准化管理委员会
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位：协鑫光电科技(江苏)有限公司、北京合能阳光新能源技术有限公司、中国科学院上海光学精密机械研究所
起草人：刘逸枫、魏明德、肖宗杰、徐养毅、杭寅
本标准规定了蓝宝石单晶晶锭的应力测试方法。 本标准适用于经过加工后直径为50.8mm~200mm的c向蓝宝石晶锭的应力测试，其他尺寸蓝宝石晶锭的应力测试可参照使用。
