标准号：GB/T 31352-2014
标准名称：蓝宝石衬底片翘曲度测试方法
发布日期：2014-12-31
实施日期：2015-09-01
批准发布部门：国家标准化管理委员会
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位：江苏协鑫软控设备科技发展有限公司、北京合能阳光新能源技术有限公司、中国科学院上海光学精密机械研究所
起草人：薛抗美、魏明德、林清香、肖宗杰、黄修康、杭寅
本标准规定了蓝宝石切割片、研磨片、抛光片（以下简称蓝宝石衬底片）翘曲度的测试方法。 本标准适用于直径50.8mm～304.8mm，厚度为不小于200m的蓝宝石衬底片翘曲度的测试。
