GB/T 31353-2014 蓝宝石衬底片弯曲度测试方法

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标准号:GB/T 31353-2014

标准名称:蓝宝石衬底片弯曲度测试方法

发布日期:2014-12-31

实施日期:2015-09-01

批准发布部门:国家标准化管理委员会

归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会

起草单位:江苏协鑫软控设备科技发展有限公司、北京合能阳光新能源技术有限公司、中国科学院上海光学精密机械研究所

起草人:薛抗美、魏明德、林清香、肖宗杰、黄修康、杭寅

本标准规定了蓝宝石切割片、研磨片、抛光片(以下简称蓝宝石衬底片)弯曲度的测试方法。 本标准适用于直径50.8mm~304.8mm,厚度为不小于200m的蓝宝石衬底片弯曲度的测试。

GB/T 31353-2014 蓝宝石衬底片弯曲度测试方法

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