标准号：GB/T 32816-2016
标准名称：硅基MEMS制造技术 以深刻蚀与键合为核心的工艺集成规范
发布日期：2016-08-29
实施日期：2017-03-01
批准发布部门：国家标准化管理委员会
归口单位：全国微机电技术标准化技术委员会
起草单位：北京大学、大连理工大学、中机生产力促进中心、北京青鸟元芯微系统科技有限公司
起草人：张大成、杨芳、何军、黄贤、邹赫麟、田大宇、李海斌、王玮、刘冲、刘伟、姜博岩
本标准规定了采用以深刻蚀与键合为核心的工艺集成进行MEMS器件加工时应遵循的工艺要求和质量检验要求。本标准适用于基于以深刻蚀与键合为核心的工艺集成的加工和质量检验。
