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GB/T 37406-2019 电子封装用球形二氧化硅微粉球形度的检测方法 颗粒动态光电投影法

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标准号:GB/T 37406-2019

标准名称:电子封装用球形二氧化硅微粉球形度的检测方法 颗粒动态光电投影法

发布日期:2019-05-10

实施日期:2019-12-01

批准发布部门:国家标准化管理委员会

归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会

起草单位:江苏联瑞新材料股份有限公司、汉高华威电子(连云港)有限公司、国家硅材料深加工产品质量监督检验中心

起草人:曹家凯、吕福发、姜兵、封丽娟、夏永生、戴春明、阮建军、王松宪、李冰、陈进、马涛

本标准规定了电子封装用球形二氧化硅微粉颗粒球形度、平均球形度及球形度分布的颗粒动态光电投影测试方法。

本标准适用于4m~300m的电子封装用球形二氧化硅微粉球形颗粒。

GB/T 37406-2019 电子封装用球形二氧化硅微粉球形度的检测方法  颗粒动态光电投影法

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