标准号:GB/T 37406-2019
标准名称:电子封装用球形二氧化硅微粉球形度的检测方法 颗粒动态光电投影法
发布日期:2019-05-10
实施日期:2019-12-01
批准发布部门:国家标准化管理委员会
归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位:江苏联瑞新材料股份有限公司、汉高华威电子(连云港)有限公司、国家硅材料深加工产品质量监督检验中心
起草人:曹家凯、吕福发、姜兵、封丽娟、夏永生、戴春明、阮建军、王松宪、李冰、陈进、马涛
本标准规定了电子封装用球形二氧化硅微粉颗粒球形度、平均球形度及球形度分布的颗粒动态光电投影测试方法。
本标准适用于4m~300m的电子封装用球形二氧化硅微粉球形颗粒。