标准号：GB/T 5252-2020
标准名称：锗单晶位错密度的测试方法
代替标准：GB/T 5252-2006
发布日期：2020-06-02
实施日期：2021-04-01
批准发布部门：国家标准化管理委员会
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位：有研光电新材料有限责任公司、国合通用测试评价认证股份公司、中国电子科技集团公司第四十六研究所、中锗科技有限公司、北京国晶辉红外光学科技有限公司、云南临沧鑫圆锗业股份有限公司、广东先导稀材股份有限公司、义乌力迈新材料有限公司
起草人：张路、冯德伸、姚康、刘新军、韦圣林、黄洪伟文、马会超、普世坤、郭荣贵、向清华
本标准规定了锗单晶位错密度的测试方法。
本标准适用于｛111}、｛100｝和｛013｝面锗单晶位错密度的测试，测试范围为0cm-2~100000cm-2。
