标准号：GB/T 17874-2021
标准名称：电子特气 三氯化硼
代替标准：GB/T 17874-2010
发布日期：2021-10-11
实施日期：2022-05-01
批准发布部门：国家标准化管理委员会
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位：大连保税区科利德化工科技开发有限公司、和立气体（上海）有限公司、广东华特气体股份有限公司、福建久策气体股份有限公司、江西华特电子化学品有限公司、沁阳国顺硅源光电气体有限公司、浙江省化工研究院有限公司、杭州市消费者权益保护委员会秘书处（杭州国家电子商务产品质量监测处置中心）、上海华爱色谱分析技术有限公司、上海凡伟仪器设备有限公司、沈阳中复科金压力容器有限公司、昆明广瑞达特种气体有限责任公司、西南化工研究设计院有限公司武汉分公司、中昊光明化工研究设计院有限公司、太和气体（荆州）有限公司、海宁市英德赛电子有限公司、中船重工（邯郸）派瑞特种气体有限公司、苏州金宏气体股份有限公司、上海兄弟微电子技术有限公司、昊华气体有限公司西南分公司、上海申南特种气体有限公司、大连大特气体有限公司、联雄投资(上海)有限公司、浙江东开半导体科技有限公司、西南化工研究设计院有限公司、西南化工研究设计院有限公司双流分公司
起草人：施旖旎、赵趫、梁成科、阳辉、丁高松、何经余、苏子杰、廖恒易、张建君、王新喜、周礼誉、鬲春利、陈洁、吴靓、何波、黄小强、宫兵、易达文、李威、赵帅德、沈翠平、孙福楠、梁永强、傅铸红、陈艳珊、曹素英、宋富财、刘健、史婉君、孙猛、史隽涛、张琦炎、吕博文、方华、辛伶、黄辉、刘扬涛、李阳、高静、余民、周鹏云
本文件规定了电子级三氯化硼的技术要求、检验规则、试验方法、标志、包装、运输、贮存及安全信息的要求。
本文件适用于以粗制三氯化硼为原料提纯制得的电子级三氯化硼。
