标准号:GB/T 4060-1983
标准名称:硅多晶真空区熔基硼检验方法
发布日期:1983-12-20
实施日期:1984-12-01
废止日期:2008-02-01
批准发布部门:中国有色金属工业协会
归口单位:中国有色金属工业协会
起草单位:峨嵋半导体材料厂
标准号:GB/T 4060-1983
标准名称:硅多晶真空区熔基硼检验方法
发布日期:1983-12-20
实施日期:1984-12-01
废止日期:2008-02-01
批准发布部门:中国有色金属工业协会
归口单位:中国有色金属工业协会
起草单位:峨嵋半导体材料厂
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