标准号：YS/T 1434-2021
标准名称：六氯乙硅烷组分含量的测定 气相色谱法
发布日期：2021-12-02
实施日期：2022-04-01
本文件规定了六氯乙硅烷中三氯氢硅、四氯化硅、六氯乙硅烷及其他组分含量的气相色谱测定方法。
本文件适用于六氯乙硅烷中三氯氢硅、四氯化硅、六氯乙硅烷及其他组分含量的测定，各组分的测定范围（质量分数）为不小于0.001%。
归口单位：全国有色金属标准化技术委员会、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会
起草单位：洛阳中硅高科技有限公司、亚洲硅业（青海）股份有限公司、内蒙古通威高纯晶硅有限公司、新疆大全新能源股份有限公司、雅波拓（福建）新材料有限公司
起草人：万烨、严大洲、赵雄、楚东旭、刘凤华、徐家扬、曹俊英、田润朝、于生海、安军林、侯海波、邓远红、付萍