GB/T 12963-1996 硅多晶

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标准号:GB/T 12963-1996

标准名称:硅多晶

发布日期:1996-11-04

实施日期:1997-04-01

废止日期:2010-06-01

批准发布部门:国家标准化管理委员会

归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会

起草单位:峨眉半导体材料厂

GB/T 12963-1996 硅多晶

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