标准号：GB/T 16880-1997
标准名称：光掩模缺陷分类和尺寸定义的准则
发布日期：1997-06-20
实施日期：1998-03-01
批准发布部门：国家标准化管理委员会
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位：中国科学院微电子中心
本准则的范围是制定有关光掩模缺陷分类用的标准术语，并规定缺陷大小的表达方法。确定光掩模缺陷时应遵循这个准则。
GB/T 16880-1997 光掩模缺陷分类和尺寸定义的准则
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