标准号：GB/T 42721-2023
标准名称：电子特气 一氧化氮
发布日期：2023-08-06
实施日期：2024-03-01
批发部门：国家标准化管理委员会
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位：大连科利德光电子材料有限公司、湖州市南浔区佰通标准化研究院、广东华特气体股份有限公司、江西华特电子化学品有限公司、绿菱电子材料(天津）有限公司、三峡大学、湖北京瑞气体有限公司、玉门大洋天庆石化有限责任公司、中昊光明化工研究设计院有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、上海市计量测试技术研究院、杭州新世纪混合气体有限公司、联雄投资(上海)有限公司、衢州杭氧特种气体有限公司、浙江泓芯半导体有限公司、空气化工产品（中国）投资有限公司、绍兴科艺标准技术咨询有限公司、浙江西亚特电子材料有限公司、和立气体（上海）有限公司、西南化工研究设计院有限公司、昊华气体有限公司、中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公司、苏州金宏气体股份有限公司、华测检测认证集团股份有限公司、北京高麦克仪器科技有限公司、湖北和远气体股份有限公司、兰州裕隆气体股份有限公司、昊华气体有限公司西南分公司、上海申南特种气体有限公司、大连大特气体有限公司、中国计量科学研究院、宿州伊维特新材料有限公司、杭氧集团股份有限公司、上海凡伟仪器设备有限公司、布鲁克（北京）科技有限公司、浙江炬和科技有限公司、沈阳中复科金压力容器有限公司、浙江东开半导体科技有限公司、昆明广瑞达特种气体有限责任公司
起草人：施旖旎、付梦月、焦培培、郭琼、袁瑞玲、邵治平、金向华、孙猛、曹雪枫、汤萍、马彬淇、杜大艳、袁有录、王小波、边鲁宁、阳辉、吴靓、方华、高艳秋、郝萍、张金波、杨金山、杨康、黄辉、吴慧明、兰锋、王晶、李倩、宫兵、王大为、吴乾康、梁永强、马昌宁、赵刚、陈辉、刘颖、张天泽、李翔宇、傅铸红、陈艳珊、廖恒易、茹高艺、牛艳东、李长健、曹小林、方强、尹爱华、常侠、汪正宏、陈洁、王昭彬、于庆伟、王德发、张体强、秦远望、何波、韩一松、毛玲玲、尚柏羊、耿朝曦、董硕、顾大正、杨利、钱叶超、梁成科、高静、赖晓峰、周鹏云
本文件规定了一氧化氮的技术要求、采样、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存及安全信息的要求。
本文件适用于集成电路等电子工业制造中使用的电子用一氧化氮。
