GB/T 14851-2009 电子工业用气体 磷化氢

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标准号:GB/T 14851-2009

标准名称:电子工业用气体 磷化氢

代替标准:GB/T 14851-1993

发布日期:2009-10-30

实施日期:2010-05-01

批准发布部门:国家标准化管理委员会

归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会

起草单位:中国计量科学研究院、大连光明化工研究院、西南化工研究设计院

起草人:周泽义、孙福楠、周鹏云

u3000u3000本标准规定了电子工业用磷化氢的技术要求,试验方法以及包装、标志、贮运及安全。 u3000u3000本标准适用于亚磷酸热分解、磷化物水解、单质磷与水或碱反应等方法获得并经精制得到的磷化氢产品。它主要用于半导体器件和集成电路生产的外延、离子注入和掺杂。

GB/T 14851-2009 电子工业用气体  磷化氢

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