标准号：GB/T 33763-2017
标准名称：蓝宝石单晶位错密度测量方法
发布日期：2017-05-31
实施日期：2017-12-01
批准发布部门：国家标准化管理委员会
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位：江苏协鑫软控设备科技发展有限公司、深圳市中安测标准技术有限公司、中国科学院上海光学精密机械研究所
起草人：薛抗美、黄修康、田野、张永波、杭寅、尹继刚、张毅
本标准规定了蓝宝石单晶位错密度的测量方法。
本标准适用于抛光加工后位错密度为0个／cm2~100000个／cm2的蓝宝石单晶位错密度的测量，检测面为｛0001)、{1120)、{1012)、{1010｝面。
