标准号：GB/T 34504-2017
标准名称：蓝宝石抛光衬底片表面残留金属元素测量方法
发布日期：2017-10-14
实施日期：2018-05-01
批准发布部门：国家标准化管理委员会
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位：天通控股股份有限公司
起草人：康森、宋岩岩、於震杰、邵峰、沈瞿欢
本标准规定了蓝宝石抛光衬底片表面深度为5nm以内的残留金属元素的全反射X光荧光光谱测试方法。
本标准适用于蓝宝石抛光衬底片表面残留的、在元素周期表中11(Na)~92(U）号（除去铝和氧），且面密度在109atoms/cm2~1015atoms/cm2范围内元素的定量测量。其他用途蓝宝石抛光片表面残留金属元素的测量可参照本标准执行。
