标准号：GB/T 34210-2017
标准名称：蓝宝石单晶晶向测定方法
发布日期：2017-09-07
实施日期：2018-06-01
批准发布部门：国家标准化管理委员会
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位：中国科学院上海光学精密机械研究所、深圳市中安测标准技术有限公司、丹东新东方晶体仪器有限公司、东莞市华源光电科技有限公司
起草人：杭寅、甄伟、洪佳琪、张连翰、尹继刚、赵松彬、张毅、刘卫卫
本标准规定了采用X射线定向仪测定蓝宝石单晶晶向的方法。
本标准适用于测定表面取向大致平行于低指数晶面的蓝宝石单晶材料。
