标准号:GB/T 34213-2017
标准名称:蓝宝石衬底用高纯氧化铝
发布日期:2017-09-07
实施日期:2018-06-01
批准发布部门:国家标准化管理委员会
归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位:四川鑫通新材料有限责任公司、四川鑫炬新兴新光源材料有限公司、江苏协鑫软控设备科技发展有限公司、东莞市技顶电子科技有限公司
起草人:钱幼平、熊洲、黄修康、侯龙超、唐大林、薛抗美、张强
本标准规定了蓝宝石衬底用高纯氧化铝的要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输、贮存、质量证明书和订货单(或合同)内容等。
本标准适用于蓝宝石衬底用高纯氧化铝(以下简称高纯氧化铝),其他用途的蓝宝石单晶用高纯氧化铝可参照本标准执行。
高纯氧化铝的分子式为Al2O3,相对分子质量为101.96,晶型为。