标准号：GB/T 36705-2018
标准名称：氮化镓衬底片载流子浓度的测试 拉曼光谱法
发布日期：2018-09-17
实施日期：2019-06-01
批准发布部门：国家标准化管理委员会
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所、中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟、东莞市中镓半导体科技有限公司、苏州纳维科技有限公司、有色金属技术经济研究院、中国电子技术标准化研究院
起草人：郑树楠、张育民、王建峰、徐科、丁晓民、陆敏、石林、邱永鑫、付雪涛、杨素心、杨建
本标准规定了利用拉曼光谱测试N型氮化镓衬底片载流子浓度的方法。
本标准适用于在蓝宝石、碳化硅、硅、氮化镓材料上生长的N型氮化镓衬底片载流子浓度的测试。测试范围：11017cm-3～11020cm-3。
