标准号：GB/T 4060-2018
标准名称：硅多晶真空区熔基硼检验方法
代替标准：GB/T 4060-2007
发布日期：2018-09-17
实施日期：2019-06-01
批准发布部门：国家标准化管理委员会
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位：江苏中能硅业科技发展有限公司、洛阳中硅高科技有限公司、亚洲硅业（青海）有限公司、峨嵋半导体材料研究所
起草人：胡伟、刘晓霞、王桃霞、胡自强、万烨、杨旭、耿全荣、鲁文锋、宗冰、肖建忠
本标准规定了多晶硅中基硼含量的测试方法。
本标准适用于在硅芯上沉积生长的多晶硅棒中基硼含量的测定。基硼含量（原子数）测定范围为
0.01X1018cm-3~5X1015cm-3。
