标准号：GB/T 4059-2007
标准名称：硅多晶气氛区熔基磷检验方法
代替标准：GB/T 4059-1983
发布日期：2007-09-11
实施日期：2008-02-01
废止日期：2019-11-01
批准发布部门：中国有色金属工业协会
归口单位：中国有色金属工业协会
起草单位：蛾眉半导体材料厂
本标准适用于多晶硅沉积在硅芯上生长的多晶硅棒基磷的检验。本标准检测杂质浓度的有效范围：0．002×10-9～100×10-9。
GB/T 4059-2007 硅多晶气氛区熔基磷检验方法
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