标准号：GB/T 12963-2009
标准名称：硅多晶
代替标准：GB/T 12963-1996
发布日期：2009-10-30
实施日期：2010-06-01
批准发布部门：国家标准化管理委员会
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位：峨眉半导体材料厂
起草人：罗莉萍、张辉坚、王炎
u3000u3000本标准规定了硅多晶的产品分类?﹑技术要求﹑试验方法﹑检验规则以及标志﹑运输﹑贮存。 u3000u3000本标准适用于以三氯氢硅或四氯化硅用氢还原法制得的硅多晶。
GB/T 12963-2009 硅多晶
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