GB/T 37053-2018 氮化镓外延片及衬底片通用规范

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标准号:GB/T 37053-2018

标准名称:氮化镓外延片及衬底片通用规范

发布日期:2018-12-28

实施日期:2019-07-01

批准发布部门:国家标准化管理委员会

归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会

起草单位:东莞市中镓半导体科技有限公司、苏州纳维科技有限公司、中国电子技术标准化研究院、合肥彩虹蓝光科技有限公司、南京大学电子科学与工程学院

起草人:丁晓民、刘南柳、修向前、孙永健、潘尧波、徐科、王香、张国义

本标准规定了氮化镓外延片(以下简称外延片)及氮化镓衬底片(以下简称衬底片)的通用规范,包括产品分类、要求、检验方法、检验规则以及标志、包装、运输和储存等。

本标准适用于氮化镓外延片与氮化镓衬底片。产品主要用于发光二极管、激光二极管、探测器等光电器件,以及微波与电力电子功率器件。

GB/T 37053-2018 氮化镓外延片及衬底片通用规范

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