标准号：GB/T 4059-2018
标准名称：硅多晶气氛区熔基磷检验方法
代替标准：GB/T 4059-2007
发布日期：2018-12-28
实施日期：2019-11-01
批准发布部门：国家标准化管理委员会
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位：江苏中能硅业科技发展有限公司、亚洲硅业（青海）有限公司、新特能源股份有限公司、洛阳中硅高科技有限公司、鄂尔多斯多晶硅业有限公司、新疆协鑫新能源材料科技有限公司、山东大海新能源发展有限公司、青海黄河上游水电开发有限责任公司新能源分公司、内蒙古神舟硅业有限责任公司、宜昌南玻硅材料有限公司、新疆大全新能源股份有限公司、内蒙古盾安光伏科技有限公司、乐山市产品质量监督检验所
起草人：胡伟、耿全荣、柳德发、薛心禄、宗凤云、邱艳梅、楚东旭、刘翠、梁洪、唐珊珊、胡自强、鲁文锋、蔡延国、尹东林、刘国霞、高明、王瑞、姚利忠、王佳
本标准规定了多晶硅中基磷含量的检验方法。
本标准适用于在硅芯上沉积生长的多晶硅棒中基磷含量（原子数）的测定，测定范围为0.011013Cm-3~
5001013cm-3。
