标准号：GB/T 16943-2009
标准名称：电子工业用气体 氦
代替标准：GB/T 16943-1997
发布日期：2009-10-30
实施日期：2010-05-01
批准发布部门：国家标准化管理委员会
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位：西南油气田分公司成都天然气化工总厂、西南化工研究设计院、北京氦普北分气体工业有限公司
起草人：刘泽军、付永成、赵俊秀、周鹏云
u3000u3000本标准规定了氦的技术要求，试验方法以及包装、标志、贮运及安全。 u3000u3000本标准适用于以深冷法从天然气、空气和工厂弛放气中提取的气态和液态氦，以及经纯化方法得到的氦。它们在半导体制照中用作清洗气、加压气，也用作载气和保护气等。
