标准号：GB/T 4058-2009
标准名称：硅抛光片氧化诱生缺陷的检验方法
代替标准：GB/T 4058-1995
发布日期：2009-10-30
实施日期：2010-06-01
批准发布部门：国家标准化管理委员会
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位：峨嵋半导体材料厂
起草人：何兰英、王炎、张辉坚、刘阳
u3000u3000本标准规定了硅抛光片氧化诱生缺陷的检验方法。 u3000u3000本标准适用于硅抛光片表面区在模拟器件氧化工艺中诱生或增强的晶体缺陷的检测。 u3000u3000硅单晶氧化诱生缺陷的检验也可参照此方法。
