标准号：GB/T 34178-2017
标准名称：光掩模石英玻璃基板
发布日期：2017-09-07
实施日期：2018-08-01
批准发布部门：中国建筑材料联合会
归口单位：全国工业玻璃和特种玻璃标准化技术委员会
起草单位：中国建材检验认证集团股份有限公司、长沙韶光铬版有限公司、国家安全玻璃及石英玻璃质量监督检验中心、中建材衢州金格兰石英有限公司、中国建筑材料科学研究总院
起草人：吴洁、王京侠、花宁、刘焕敏、张浩运、杨晓会、张应语、王友军、李弋舟、肖颂华、聂兰舰、杨学东、孔敏
本标准规定了光掩模石英玻璃基板（以下简称石英玻璃基板）的术语和定义、要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存。
本标准适用于半导体集成电路、光通讯、微机电系统（MEMS)、光电器件和发光二级管（LED）等光刻工艺中光掩模石英玻璃基板。
