标准号：GB/T 37466-2019
标准名称：氮化镓激光剥离设备
发布日期：2019-06-04
实施日期：2019-10-01
批准发布部门：国家标准化管理委员会
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
起草单位：东莞市中镓半导体科技有限公司、中国电子技术标准化研究院
起草人：孙永健、刘鹏、汪青、丁晓民、冯亚彬
本标准规定了氮化镓激光剥离设备(以下简称“激光剥离设备”)的产品分类和标记、工作条件、要求、检测方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。
本标准适用于利用激光方法将蓝宝石衬底生长的氮化镓(GaN）基外延层进行剥离的设备，氮化铝激光剥离设备可参考本标准。
