标准号：SJ/T 31080-2016
标准名称：光掩模制作用图形发生器完好要求和检查评定方法
代替标准：SJ/T 31080-1994
发布日期：2016-01-15
实施日期：2016-06-01
本标准规定了光掩模制作用图形发生器的完好要求和检查评定方法。
本标准适用于3600F型图形发生器，其他型号图形发生器(如3600型、EM250型等)可参照本标准并结合该设备的具体指标检查评定。
批准发布部门：工业和信息化部行业分类无
中国电子技术标准化研究院
起草单位：中国电子科技集团公司第十三研究所、中国电子节能技术协会、中国电子科技集团公司第五十四研究所
起草人：张倩、石少青、辛士卓 等