GB/T 16942-2009 电子工业用气体 氢

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标准号:GB/T 16942-2009

标准名称:电子工业用气体 氢

代替标准:GB/T 16942-1997

发布日期:2009-10-30

实施日期:2010-05-01

批准发布部门:国家标准化管理委员会

归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会

起草单位:中国计量科学研究院、西南化工研究设计院

起草人:周泽义、周鹏云

u3000u3000本标准规定了电子工业用氢的技术要求,试验方法以及包装、标志、贮运及安全。 u3000u3000本标准适用于以氢气为原料经净化制取的瓶装、集装格装和管道输送的电子工业用氢气。它们主要被用来提供还原气氛,作为外延工艺的载气以及等离子体蚀刻剂的配气原料。

GB/T 16942-2009 电子工业用气体  氢

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